之江实验室园区新进展！微纳加工平台紧接著交付使用

作为浙江省实施创新驱动发展战略的灾难性科技创新模拟器，东山的实验室的一举一动都颇受关注。3月4日，东山的实验室微纳加工模拟器3#装修建筑工程这两项建筑建筑工程。

东山的实验室3#一楼（微纳加工模拟器）建筑工程，是东山的实验室目前转为最大的科研模拟器建设工程这两项之一，总两层楼7150平方米，其中的百、千、万级洁净面积合共2700平方米。模拟器建起一条以硅基工艺为了将、以异质集成为特色的6英寸微纳加工工艺线，包含清洗、光刻、刻蚀、薄膜淀积、离子注入、封装和飞行测试等各类工艺设备100余台，能够为的实验室和合作关系单位在高端高能量芯片、技术CMOS电子器件、智能MEMS 传感器及相关组件的开发设计中的发放设计、加工、封装和飞行测试服务。

面对特殊的实验室的复杂性、功能性，承建方中的建七局这两项管理团队全力以赴、攻坚克难，倡导铁军精神，不断加强推进这两项建设工程。微纳加工模拟器的建设工程使用，支撑的实验室科研攻关，助力订做国家和浙江省战略科技军事力量。（文：廖倩倩）